旭興産　FPD・半導体製造装置　FPD製造装置

FPD・太陽電池パネル製造装置

液晶ディスプレイ（LCD）、プラズマディスプレイ（PDP）、有機EL（エレクトロルミネッセンス）やFED（フィールドエミッションデバイス）などのフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置、並びに太陽電池パネル製造装置において、ガラス基板及びフィルムハンドリング設備を中心に各種設備を製造しています。
日本各地はもちろんのこと、台湾、韓国、シンガポール、中国など各地の工場に納入しています。また、台湾においては、現地生産メンテナンス体制を整えています。
ラインのシステム設計や新規製造装置の開発、ＯＥＭ製品開発など様々なご要望にも対応しております。

１大型ガラス基板枚葉搬送システム　

第8世代以降第10世代までのガラス基板の大型化に対応し、従来のカセット搬送から、ガラス基板を1枚ごとに搬送する枚葉搬送に移行する動きが進んでいます。枚葉搬送化においては、信頼性、タクトの短縮、高速化、クリーン度の確保、省スペース性、コストダウンなど様々な要求が有ります。
これらの要求にお応えするインライン枚葉搬送システムの構築の際は、ぜひ、当社製品の導入をご検討ください。

お問い合わせ先

①第8世代ガラス基板対応(第9世代第10世代にも対応可能) 高速枚葉リフター

フロア間搬送、パスライン間の搬送などに使われる昇降装置です。従来、搬送距離が長く、タクト短縮のネック工程でしたが、90m/minの高速昇降(更なる高速化についても検討中)により問題を解決しました。

特徴

a．	90m/minの高速昇降を実現流体工学に基づく設計により、90m/minの高速昇降を実現しました。
b．	ケーブルベアが不要に昇降コンベア部に非接触給電機構を採用したことにより、ケーブルベア（移動体用の電源ケーブル）を無くしました。
c．	下降時のガラス基板の損傷を防止昇降部に流体工学に基づく気流制御板を設置し、下降時の風圧によるガラス基板の浮き上がりを抑え、ガラス基板の損傷を防ぐ構造としました。
d．	高さ方向のストローク仕様への柔軟な対応が可能に昇降用の駆動方式としてベルト駆動方式を採用することにより、ケーブルベアが不要な事と合せ、高さ方向のストローク仕様の適応範囲を大きく拡げました（ロングストローク仕様にも容易に対応可能）。
e．	クリーン度の向上ケーブルベアを使用しないことによって発塵源が減るとともに、駆動部下部に吸引ファンを設置して排気を行うことにより、装置としてのクリーン度を高めました。
f．	装置外形のコンパクト化と、低騒音化の実現ケーブルベアを使用しないこと、および省スペース設計により、ガラス基板サイズに近いコンパクトな装置外形を実現しました。また合せて、低騒音化（75デシベル以下）も実現しました。

高速枚葉リフター(第8世代ガラス基板対応タイプ)

②第8世代ガラス基板対応(第9世代第10世代にも対応可能) 微傾斜エア浮上コンベア

第8世代以降の複数サイズ混流枚葉搬送に、新たなご提案を致します。従来、液晶用の薄いガラス基板の混流搬送はかなりのコストアップになっていましたが、微傾斜エア浮上搬送の採用により、大幅なコストダウンと高速化が可能になりました。特に、クロス、ターンタイプは１種類のガラス基板搬送においてもローラーコンベアと比較してコストダウンが可能です。第9、第10世代以降のサイズへの対応についてもお問い合わせ下さい。

特徴

a．	大幅なコストダウンを実現 10度以下（6度程度）の微傾斜方式による、片側駆動方式のコンベア（8世代サイズ、複数サイズ仕様）と比較し、大幅なコストダウンを実現しました。
b．	標準36m/min、最大40m/minの高速搬送を実現片側端面ベルト搬送方式採用により、標準36m/min、最大40m/min（ストレート部）の高速搬送を実現しました。
c．	ガラス基板の混流搬送が可能片側駆動方式のため、多種類のサイズのガラス基板の混流搬送が可能です。
d．	ガラス基板へのダメージレスな搬送が可能微傾斜方式の為、垂直搬送と異なり、ガラス基板の変形、ダメージがありません。
e．	搬送時の安定性向上特殊エア噴出しノズル採用により、搬送の安定性向上と気流の撹乱要因を低減します。
f．	浮上用エア供給源にクリーンエアを使用浮上用エア供給源として内蔵ブロアを採用。フィルターにて濾過後、クリーンエアとして供給します。
g．	様々な搬送パターンに対応傾斜状態での方向転換装置（クロスタイプ、ターンタイプ）、水平払い出し機能付など多機種を備え、各種の搬送パターンに対応します。

微傾斜エア浮上コンベア(第8世代ガラス基板対応タイプ)

③第8世代ガラス基板対応　エア浮上式水平搬送コンベア

当社はエア浮上搬送設備の1号機を1998年に大手メーカーに納入するなど、古くからの実績が有ります。

特徴

a．	独自設計の小ブロック構造によりコストダウンに成功
b．	浮上エアの小ブロック化によりシェル内の乱流を低減
c．	ランニングコストの低減浮上エアは小ブロック制御浮上エアは機内ブロア使用
d．	搬送速度標準　20m/min　　最大　40m/min
e．	全面浮上により基板の変形が微小全面で1mm以内
f．	搬送は両端ローラー駆動方式
g．	コンベア間に多少の隙間や段差があってもスムーズに搬送可能

大型ガラス基板高速（非接触）搬送システム（ACAシリーズ）

様々な生産ラインに適合できます
各基板サイズの標準モジュールは３タイプ！

主要緒元（G-8タイプの例）
ガラス基板(G-8) 対応シリーズ	装置サイズ　　　　(単位 mm)			重量
ガラス基板(G-8) 対応シリーズ	L	W	H	重量
ストレート（直進型） ACA-S-2460	4,095(注1)	2,600	2,675	2,500kg
クロス　　（直交型） ACA-C-2460	3,043	2,738	2,675	2,000kg
ターン（90°回転型） ACA-T-2460	3,562	3,500	2,675	2,500kg

搬送ガラス基板サイズ	2160mm×2460mm×0.7t　または 2160mm×2400mm×0.7t
消費エアー	0.1Nm³/min(0.4Mpa以上)
搬送速度	20m/min 最大40m/min (注2)
浮上エア源	2.2Kwブロア×3
搬送方式	両端ローラー駆動
消費電力	10KVA
排気	10Nm³/min (オプションのヘパフィルター使用時)