FPD(フラットパネルディスプレイ)製造装置・太陽電池パネル製造装置

液晶ディスプレイ（LCD）、プラズマディスプレイ（PDP）、有機EL（エレクトロルミネッセンス）やFED（フィールドエミッションデバイス）などのフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置、並びに太陽電池パネル製造装置において、ガラス基板及びフィルムハンドリング設備を中心に各種設備を製造しています。特に、大型ガラス基板を1枚ずつ搬送する枚葉搬送の分野では、2006年に世界で初めてワイヤーカセットが本格的に用いられた工場のシステムに採用されて以来、数多くの先端工場に納入しております。 日本各地はもちろんのこと、台湾、韓国、シンガポール、中国など各地の工場に納入しています。また、台湾においては、現地生産メンテナンス体制を整えています。 ラインのシステム設計や新規製造装置の開発、ＯＥＭ製品開発など様々なご要望にも対応しております。

１ 大型ガラス基板枚葉搬送システム(第10世代まで対応)

第6世代以降第10世代までのガラス基板の大型化に対応して、従来のカセット搬送から、ガラス基板を1枚ずつ搬送する枚葉搬送が主体となりました。枚葉搬送化においては、信頼性、タクトの短縮、高速化、クリーン度の確保、省スペース性、コストダウンなど様々な要求が有ります。ガラス基板のインライン枚葉搬送システムの構築にご検討下さい。

�@ワイヤーカセットステーション

ガラス基板を複数枚収納したワイヤーカセットから、コンベアまたはローダー・アンローダーにガラス基板を1枚ずつ供給、またはコンベアやローダーからのガラス基板をワイヤーカセットに格納します。2006年にワイヤーカセットが世界で始めて本格的に採用された工場で、当社のシステムが採用されました。以後、エクスチェンジャー、バッファなど様々な形で枚葉搬送の要のシステムとして採用されています。当システムは磁気式非接触駆動伝達機構を採用し、発塵を抑えています。

ワイヤーカセットステーション

�A高速枚葉ローラーコンベア

・大型ガラス基板で搬送速度40m/minを実現 ・非接触駆動伝達機構で低発塵を実現 ・タクト短縮の為、更なる高速化を目指しています

�Bエア浮上式水平搬送コンベア

当社はエア浮上搬送設備の1号機を1998年に大手メーカーに納入するなど、古くからの実績が有ります。大型ガラス基板高速搬送システムとして、第10世代ガラス基板まで対応します。

特徴

a． 独自エア供給機構により当社従来機よりコストダウンに成功 b． 浮上エア風速、風量の低減によりシェル内の乱流を低減 c． ランニングコストの低減 独自のクリーンエア供給機構により、当社従来機よりランニングコストを低減しました d． 搬送速度　標準　20m/min　　最大　40m/min e． 全面浮上により基板の変形が微小 f． 搬送はローラー駆動方式 g． クロス、ターンなど方向転換のための各種タイプをそろえています

大型ガラス基板高速（非接触）搬送システム（ACAシリーズ）

様々な生産ラインに適合できます
各基板サイズの標準モジュールは３タイプ！

�C微傾斜エア浮上コンベア

複数サイズ混流枚葉搬送に最適なシステムです。従来、液晶用の薄いガラス基板の混流搬送はかなりのコストアップになっていましたが、微傾斜エア浮上搬送の採用により、大幅なコストダウンと高速化が可能になりました。

特徴

a． 10度以下（6度程度）の微傾斜方式による片側駆動方式採用により、複数サイズ対応では当社水平搬送型エア浮上コンベアと比較し、コストダウンを実現しました。 b． 片側端面ベルト搬送方式採用により、標準36m/min、最大40m/min（ストレート部）の高速搬送を実現。 c． 片側駆動方式のため、多種類のサイズのガラス基板の混流搬送が可能。 d． 微傾斜方式の為、垂直搬送と異なり、ガラス基板の変形、ダメージがありません。 e． 特殊エア噴出し機構採用により、搬送の安定性向上と気流の撹乱要因を低減。 f． エアーは低速のクリーンエアのため、ダウンフローのクリーン環境に対する影響が軽微です。 g． 傾斜状態での方向転換装置（クロスタイプ、ターンタイプ）、水平払い出し機能付など多機種を備え、各種の搬送パターンに対応。

微傾斜エア浮上コンベア(第8世代ガラス基板対応タイプ)

�D精密エア浮上コンベア

検査、加工時などにガラス基板の浮上高さを精密にコントロールする必要が有る場合に用います。ローラー駆動の場合には点接触の為、ガラス基板の変形が大きくなりますが、エア浮上だとガラス基板の変形が少なく、精密な検査・加工が可能です。

精密エア浮上コンベア

�E高速枚葉リフター

フロア間搬送、パスライン間の搬送などに使われる昇降装置です。従来、搬送距離が長く、タクト短縮のネック工程でしたが、90m/minの高速昇降(更なる高速化についても検討中)により問題を解決しました。

特徴

a． 流体工学に基づく設計により、90m/minの高速昇降を実現。 b． 昇降コンベア部に非接触給電機構を採用したことにより、ケーブルベア（移動体用の電源ケーブル）を無くした。 c． 昇降部に流体工学に基づく気流制御板を設置し、下降時の風圧によるガラス基板の浮き上がりを抑え、ガラス基板の損傷を防ぐ構造とした。 d． 昇降用の駆動方式としてベルト駆動方式を採用。ケーブルベアが不要な事と合せ、高さ方向のストローク仕様の適応範囲を大きく拡げた（ロングストローク仕様にも容易に対応可能）。 e． ケーブルベアを使用しないことにより、発塵源が減るとともに、駆動部下部に吸引ファンを設置し、排気することにより、装置としてのクリーン度を高めた。 f． ケーブルベアを使用しないこと、および省スペース設計により、ガラス基板サイズに近いコンパクトな装置外形を実現しました。また合せて、低騒音化（75デシベル以下）も実現しました。

高速枚葉リフター(第8世代ガラス基板対応タイプ)

２ ガラス基板ローダー・アンローダーシステム

�@アレイ工程 a．双腕ロボット走行型 　第10世代ガラス基板まで対応可能。 ガラス基板ローダー b．ワイヤーカセット対応型ローダー・アンローダー 　高密度ワイヤーカセットに対応しています。 　取り出しコンベア部に非接触駆動伝達機構を採用し、 　発塵を抑えています。 c.コンベアローダー 　ロボットの代わりに、コンベアでの出し入れを行う 　タイプです。移載用のコンベアが移動するタイプと 　固定式のタイプが有ります。 　第10世代のガラス基板まで対応いたします。 　ロボットに比較して安価にシステムを構成できます。 　ワイヤーカセットとの組み合わせにも対応しています。 　エア浮上との組み合わせも可能です。 �Aセル工程 様々なデータ処理を行う、検査工程などに用いられるローダーです。 インラインマルチローダ

３ ガラス基板箱詰めシステム、スタッキング装置

�@ガラス基板箱詰め装置、スタッキングマシーン
ガラス基板、またはパネルのパレット積み、パレットからの取り出し、箱詰めなどを行います。

a.多軸ロボット型
第10世代ガラス基板まで対応可能

ガラス基板スタッキングマシーン �Aガラス基板出荷ライン ガラス基板検査ユニット、合紙供給装置、パレット積み、箱詰め、梱包など

４ 真空処理装置

真空ベーキングチャンバーなど、各種真空処理装置

５ ピーラー

ガラス基板に貼られたフィルムをはがします。 いくつかのフィルムのはがし方から最適な方法をご提案いたします。 　 ピーラー

６ フィルム関連設備

プラズマや液晶用、太陽電池用などの光学フィルムのハンドリング装置です。フィルムをカットした枚葉ハンドリングと連続フィルムの何れにも対応しています。 a.カットフィルムハンドリング設備 ロールフィルムをカットした枚葉フィルムのハンドリング、張り合わせ、検査などを行います。 　 枚葉フィルム検査装置 b.ロールフィルム周辺設備 ロールフィルムの移送・交換などのハンドリング。巻きだし、巻取り、カットなど様々なプロセスにも対応します。

７ 各種コンベア、搬送設備

コンベア、リフターなど各種搬送方式に対応します。

半導体製造装置

ローダー・アンローダー、スピンコーター、ウエハー洗浄装置 基板厚み測定装置、マウンター、各種搬送設備、その他各種の設備を製作しています。

ガラス基盤について 薄膜太陽電池について FPD・太陽電池パネル製造装置と 半導体製造装置